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연혁

2010
  • Service Cart 개발 & 양산 06
  • Solar Cell LP-CVD 장비용 Frame / Gas Box / Cell Tray Tranfer System 개발 설계 & 제작 ( I 社 )11
2009
  • ALD 장비 Frame & Rack 개발 설계 & 양산(A社 HVM) 11
  • 반도체 Metal 장비용 PM Frame / Gas Box / MPD Rack / Remote Rack 개발 설계 & 양산(I 社 AKRA) 10
  • LED MO-CVD 장비용 Frame / MPD Rack / Gas Box 개발 설계 & 제작(I 社) 08
2008
  • 11 Solar Cell PE-CVD 장비용 LL Chamber / UL Chamber / PM Frame / Gas Box /
    Cell Tray Tranfer System 개발 설계 & 양산(I 社)
  • 06 경기대학교 재료공학과와 산학연 과제 수행 (진공 부품의 특성 분석 평가)
  • 02 반도체 ALD 장비용 Frame / MPD Rack / RF Rack 개발 설계 & 양산(A 社 MB)
    반도체 전공정 장비용 TM Robot Maint. TOOL 개발 & 양산
2007
  • 반도체 ALD 장비용 PM Frame / Gas Box / Elec Box / MPD Rack 개발 설계 & 양산(I 社 REVOLVER)
    반도체 ALD 장비용 Frame / MPD Rack / RF Rack 개발 설계 & 제작(A 社 MFR) 07
  • 벤처기업 선정
    기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 선정 05
  • “㈜한텍시스템”으로 법인 전환 03
  • Light Etching 장비용 PM Frame 개발 설계 & 제작 (N 社) 01
2006
  • 08 반도체 Metal 장비용 PM Frame / Gas Box / MPD Rack / Remote Rack / Elec Box
    개발 설계 & 양산(I 社 Bluetain)
  • 07 LCD 8G 장비용 PM Frame / Walkway / Gas Box 개발 설계 & 양산(I 社 Dry Etcher)
2005
  • LCD 7G 장비용 PM Frame / Walkway / Gas Box 개발 설계 & 양산(I 社 Dry Etcher) 07
  • 반도체 ALD 장비용 Frame & Rack 개발 설계 & 제작 (A社(舊G社) HJ) 06
  • 반도체 Metal ALD, CVD 장비용 PM Frame / Gas Box / MPD Rack / Control Rack
    개발 설계 & 양산(I 社 Techo) 09
  • KS A 9001 : 2001 / ISO 9001 : 2000 획득 04
2004
  • 04 Solar Cell 제조 장비용 Frame / Door Valve / Gas Box 개발 설계 & 양산(I 社 RIE)
  • 07 LCD 8G 장비용 PM Frame / Walkway / Gas Box 개발 설계 & 양산(I 社 Dry Etcher)
2003
  • LCD 6G 장비용 MPD Rack / Utility Rack / Service Cart 개발 설계 & 양산(I 社(舊A社) Dry Etcher) 04
2002
  • 08 반도체 Metal CVD 장비용 PM Frame / System Frame / PC Rack / MPD Rack 개발 설계 & 제작(I 社)
  • 07 반도체 장비용 Control Rack / MPD Rack 개발 설계 & 양산(A 社(舊K社) RTP)
2001
  • 반도체 장비용 Control Rack / MPD Rack 개발 설계 & 양산(M 社 ALD, CVD) 10
  • 반도체 장비용 Control Rack / MPD Rack 개발 설계 & 제작(A 社(舊K社) RTP)
    19" Standard Rack 개발 설계 & 양산(S社 Sputter) 06
2000
  • 06 방산 장비용 모터통제기 개발 설계 & 양산(R社 Oerlikon)
1999
  • 반도체 장비용 MPD Rack / CTC Rack / Remote Rack 개발 설계 & 양산( I 社 Dry Etch, ALD) 12
  • 원자로 감시 시스템 NIMS / LPMS / IVMS Rack 개발 설계 & 제작(W社) 11
  • 농업 자동화용 Console 개발 설계 & 양산(H社) 06
  • 반도체 장비용 Rack Frame 개발 04
1998
  • 09 “한테크시스템” 설립