한텍시스템

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기업소개: 미션; 인사말; 지속가능경영; 연혁; 찾아오시는 길

사업소개: 반도체; 디스플레이; 태양전지; 부속제품

홍보센터: CI 설명; 한텍만의 경쟁력; 업무FLOW

자료실: 자료실

인재채용: 인재상; 인사제도; 인재육성; 복리후생; 채용정보; 직무소개

반도체

HyEta 설비 설계 및 제작

PM Main Frame
Gas Box & Duct
Utility Line Duct
Main PM Control Box
Interlock Bypass Key Box
Frame Cover
Lower Elec Box
Canister Control Box
Motor Control Box
OT Motor Interlock Box
HPD Box
Junction Box
Top Lid Cover
Moving Jig

Quanta 설비 설계 및 제작

PM Main Frame
Gas Box & Duct
Cable Duct
TC Box & Duct
Inlet Exhaust Duct
Valve Board Box
RPG Display Box
Moving Jig

Gemini 설비 설계 및 제작

PM Main Frame
Gas Box
Cable Duct
Gas Line Duct
Power Signal Box
Generator Box
Chiller Frame
Utility Box
EMO Box
Moving Jig

Gemini ALD OX 설비 설계 및 제작

PM Main Frame
Gas Box
Canister Box
EMO Box
Chiller Frame
Wall Cover
Moving Jig

NOA 설비 설계 및 제작

PM Main Frame
Gas Box
Utility Box
Main PM Control Box
Heater Control Box
Heater Power Distribute Box
Exhaust Duct

Techo 설비 설계 및 제작

PM Main Frame
Gas Box
Exhaust Duct
Cable Duct
Frame Cover
EMO Box
Main PM Control Box
Upper Elec Box
OT TC Box
OT Interlock Box
TC Box
Lower Elec Box
SCF Interface Box

AKRA 설비 설계 및 제작

PM Main Frame
Gas Box
Utility Box
Regulator Box
Main PM Control Box
Terminal Block Box
RF Matcher Box
TC Box
Frame Cover

Bluetain 설비 설계 및 제작

PM Main Frame
Gas Box
Cooling Line Duct
Frame Cover
Main PM Control Box
Heater Control Box
Gas Junction Box
Lower Junction Box
EMO Box
Foot Print
Terminal Block Box

Etcher Frame 설계 및 제작

Main Frame
Gas Box
Control Box
Power Box
Merge Box
PC Box

MH Frame 설계 및 제작

Main Frame
Gas Box
Frame Cover
Ampoule Box
Control Box
D-Net Box
Hub Box
EMO Box
Heater Circuit Box
Indicator Box
Interlock Board Box
Manifold Box
PMC Box
RPS Box
Servo Box
Splitter Box
Switch Box
Temp Monitor Box

HVM Frame 설계 및 제작

Main Frame
Gas Box
Frame Cover
Heater Circuit Box
D-Net Box
Temp Controller Box
Manifold Box
PCB Board Box
Splitter Box
Detector Box
Controller Box
RPS Box
Switch Box
PMC Box